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为EUV光刻机拼了!三星斥资430亿输血

菲律宾太阳娱乐登入网址 cnbeta 2021-03-04 08:50:08
[摘要]三星电子周二斥资430亿韩元(约合2.5亿)买入152万股韩国FST公司的股票,成为其第三大股东,持股占比6.9%。
  三星一方面在积极向唯一的EUV光刻机厂商ASML争取订单,另外一方面也在增资为EUV产业链输血。

  据报道,三星电子周二斥资430亿韩元(约合2.5亿)买入152万股韩国FST公司的股票,成为其第三大股东,持股占比6.9%。

  FST是一家生产掩模/光罩保护膜和冷却器的厂商,保护膜简单来说就是保障光罩不受灰尘影响,冷却器则是控制半导体制造过程中的温度。

  FST正在研制EUV光罩保护膜,设计目标是全尺寸,碳化硅基质,30nm尺度,透光率90%。

  目前,尚未有一家公司大规模量产EUV光罩保护膜FST成功后,将对产业以及自身收入有着积极影响。

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编辑:齐少恒

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